經(jīng)濟(jì)觀察報 記者 蔡越坤 近期，作為半導(dǎo)體工業(yè)“皇冠上的明珠”，國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈上的概念股吸引了二級市場投資者前所未有的關(guān)注。

正因如此，A股“光刻機(jī)”概念股的股價此起彼伏，相關(guān)上市公司頻繁受到資本的關(guān)注。9月21日，軟包裝復(fù)合膠粘劑龍頭高盟新材（300200.SZ）大幅上漲16.19%，盤中一度20CM漲停。

高盟新材9月14日在投資者互動平臺表示，公司業(yè)務(wù)沒有涉及光刻機(jī)，但公司投資參股了光刻膠項目公司，其中，公司參股北京科華微電子材料有限公司比例為3.67%，參股北京鼎材科技有限公司比例為1.39%，北京科華是國內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域的頭部企業(yè)，北京鼎材是OLED發(fā)光材料和面板顯示光刻膠領(lǐng)域的優(yōu)秀企業(yè)。

根據(jù)記者不完全統(tǒng)計，投資者在互動易平臺詢問相關(guān)上市公司光刻機(jī)相關(guān)業(yè)務(wù)的動態(tài)高達(dá)數(shù)百條，光刻機(jī)市場的動態(tài)牽動著資本市場的神經(jīng)。

對于光刻機(jī)市場，中航證券指出，半導(dǎo)體行業(yè)十年翻倍，晶圓廠積極擴(kuò)產(chǎn)，疊加芯片性能升級，光刻強(qiáng)度上升，預(yù)計5nm邏輯芯片的光刻支出占比達(dá)35%，光刻工藝的重要性愈發(fā)凸顯，市場規(guī)模快速增長，預(yù)計2024年有望達(dá)到230億美元，ASML（荷蘭光刻機(jī)巨頭）在高端市場一枝獨秀。2022年中國大陸光刻機(jī)進(jìn)口約40億美元，主要從日本、荷蘭進(jìn)口，出口管制下光刻機(jī)存在斷供隱憂，自主可控勢在必行。

光刻機(jī)概念被熱捧

受華為推出爆款手機(jī)新品等消息的影響，光刻機(jī)概念股備受投資者關(guān)注。

Wind光刻機(jī)指數(shù)成分股包括21家上市公司，截至9月22日，這21家公司中，市值前十位包括：張江高科（600895.SH）、雅克科技（002409.SZ）、彤程新材（603650.SH）、南大光電（300346.SZ）、容大感光（300576.SZ）、福晶科技（002222.SZ）、上海新陽（300236.SZ）、茂萊光學(xué)（688502.SH）、晶瑞電材（300655.SZ）、華懋科技（603306.SH）。

從2023年中報業(yè)績角度來看，截至9月22日，Wind光刻機(jī)指數(shù)成分股上市公司，主營業(yè)務(wù)收入均值為9.06億元；主營業(yè)務(wù)利潤均值為1.156億元。

此外，數(shù)據(jù)顯示，自8月29日以來，光刻機(jī)概念指數(shù)開始強(qiáng)勢上漲，此后10個交易日漲幅近30%，其中僅僅9月5日光刻機(jī)指數(shù)就暴拉超過9%。自9月18日以來，光刻機(jī)概念指數(shù)逐漸回調(diào)。

2023年初至9月22日，容大感光、藍(lán)英裝備的股價漲幅超100%；騰景科技（688195.SH）、廣信材料（300537.SZ）、揚帆新材（300637.SZ）、福晶科技（002222.SZ）、張江高科（600895.SH）漲幅超過50%。

光刻機(jī)概念股被爆炒，也引起了深交所發(fā)函關(guān)注。

公開交易信息顯示，自9月5日至9月13日，藍(lán)英裝備股價在短短7個交易日內(nèi)股價累計上漲超100%。9月12日，藍(lán)英裝備收到深交所關(guān)注函。

其間，藍(lán)英裝備在9月7日和9月11日曾兩度發(fā)布股價異常波動公告，稱未發(fā)現(xiàn)近期公共傳媒有報道可能或已經(jīng)對公司股票交易價格產(chǎn)生較大影響的未公開重大信息；公司經(jīng)營情況及內(nèi)外部經(jīng)營環(huán)境未發(fā)生重大變化；公司、控股股東和實際控制人不存在關(guān)于公司的應(yīng)披露而未披露的重大事項，或處于籌劃階段的重大事項。

9月20日，“光刻機(jī)概念”藍(lán)英裝備（300293.SZ）回復(fù)深交所關(guān)注函，表示公司并不直接參與其相關(guān)設(shè)備的生產(chǎn)制造。在相關(guān)客戶設(shè)備生產(chǎn)制造的整個價值鏈中，對比相關(guān)客戶的設(shè)備產(chǎn)品的價值，從金額上看公司相關(guān)設(shè)備占比較小。

值得關(guān)注的是，藍(lán)英裝備在回復(fù)公告中，對“光刻機(jī)”一詞只字未提。其只是在公告中稱，公司根據(jù)相關(guān)用戶對其設(shè)備相關(guān)零部件的清潔度和精密度需求，提供相應(yīng)的清洗設(shè)備和解決方案。

寡頭壟斷

據(jù)悉，光刻機(jī)是光刻工藝的核心設(shè)備，主要由光學(xué)系統(tǒng)、機(jī)械系統(tǒng)和控制系統(tǒng)構(gòu)成。而光刻是芯片制造的核心環(huán)節(jié)，因此，國內(nèi)光刻機(jī)的發(fā)展動態(tài)也倍受投資者關(guān)注。

根據(jù)光大證券研報數(shù)據(jù)，全球光刻機(jī)市場主要由荷蘭的ASML、日本尼康（Nikon）和佳能（Canon）三家把持。目前市場上的光刻機(jī)主要分為g-line、i-line、KrF、ArF、EUV五代迭代更新。

三家企業(yè)光刻機(jī)出貨量由2015年的281臺增長至2022年的551臺，CAGR達(dá)10.10%；銷售收入由2019年的945億元增長至2022年的1318億元，CAGR（年均復(fù)合增長率）達(dá)11.73%。其中ASML占據(jù)絕對的龍頭地位，壟斷高端EUV市場。

其中，Canon在低端光刻機(jī)市場占據(jù)優(yōu)勢地位，主要集中在i-line光刻機(jī)；Nikon在光刻機(jī)產(chǎn)品類型覆蓋較廣，在除EUV之外的類型均有涉及，其中以ArF和i-line光刻機(jī)領(lǐng)域較為突出，但在出貨量上遠(yuǎn)少于ASML和Canon。

具體來看，中航證券研究所數(shù)據(jù)顯示，從早年美國GCA+PerkinElmer把持，到如今僅剩荷蘭ASML+日本Nikon/Canon，美國光刻機(jī)企業(yè)退出歷史舞臺。后入局的上海微電子主要在封裝環(huán)節(jié)，前道光刻機(jī)小批量出貨。當(dāng)前，光刻機(jī)市場份額集中度很高，ASML占據(jù)全球八成以上的市場。

浸沒式的成功和EUV的飛躍，使ASML幾乎壟斷高端市場。全球僅ASML能生產(chǎn)高端EUV，浸沒式DUV也僅ASML與Nikon出貨，2022年ASML出貨占95%，在ArF和KrF光刻機(jī)的份額也高達(dá)88%/72%。低端i線光刻機(jī)上，Canon出貨占比較高。

相比較之下，國產(chǎn)光刻機(jī)的發(fā)展與國際先進(jìn)水平差距仍較大。

光大證券研報指出，上海微電子是中國大陸光刻機(jī)進(jìn)展最快的廠商，其自主研發(fā)的600系列光刻機(jī)可批量生產(chǎn)90nm工藝的芯片。但是在技術(shù)層面，上海微電子的IC前道光刻機(jī)與國際先進(jìn)水平差距仍較大。上海微電子裝備有限公司已量產(chǎn)的光刻機(jī)中性能最好的最高可實現(xiàn)90nm制程節(jié)點，ASML的EUV3400B制程節(jié)點可達(dá)到5nm。這也使得在IC前道光刻機(jī)市場，國產(chǎn)化率較低，國內(nèi)的IC前道光刻機(jī)市場主要被ASML、Nikon和Canon瓜分。

國產(chǎn)亟待突破

作為芯片制造領(lǐng)域的重要設(shè)備之一，光刻機(jī)的動態(tài)進(jìn)展格外受到關(guān)注。

據(jù)悉，國內(nèi)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈主要包括上游設(shè)備及配套材料、中游光刻機(jī)系統(tǒng)集成和生產(chǎn)及下游光刻機(jī)應(yīng)用三大環(huán)節(jié)。光大證券研報梳理指出，其中，光刻機(jī)元器件上游國內(nèi)代表企業(yè)包括福晶科技、國望光學(xué)、賽微電子、科益宏源、國科精密、炬光科技、奧普光電等；中游光刻機(jī)系統(tǒng)制造代表企業(yè)為上海微電子；下游光刻機(jī)應(yīng)用代表企業(yè)為中芯國際。

近期，A股多家上市公司在互動易等平臺上對外介紹自身在光刻機(jī)或半導(dǎo)體領(lǐng)域的布局。

9月18日，炬光科技（688167.SH）回答投資者關(guān)于光刻機(jī)供應(yīng)產(chǎn)品相關(guān)問題時表示，公司多年來一直為半導(dǎo)體光刻應(yīng)用領(lǐng)域提供光刻機(jī)曝光系統(tǒng)中的核心激光光學(xué)元器件——光場勻化器，供應(yīng)給世界頂級光學(xué)企業(yè)A公司，最終應(yīng)用于全球高端光刻機(jī)生產(chǎn)商的核心設(shè)備；近年來光場勻化器產(chǎn)品也應(yīng)用于國內(nèi)主要光刻機(jī)研發(fā)項目和樣機(jī)中。

9月15日，大族激光（002008.SZ）在互動易上回答投資者提問時稱，公司光刻機(jī)項目主要應(yīng)用在分立器件領(lǐng)域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻機(jī)已投入市場，步進(jìn)式光刻機(jī)已啟動用戶優(yōu)化，公司將根據(jù)市場需求及業(yè)務(wù)發(fā)展情況持續(xù)制定研發(fā)計劃，并加大研發(fā)核心部件國產(chǎn)化。

9月14日，芯碁微裝（688630.SH）也表示，圍繞自身技術(shù)優(yōu)勢，結(jié)合行業(yè)發(fā)展趨勢，持續(xù)進(jìn)行研發(fā)創(chuàng)新和產(chǎn)品迭代，滿足國內(nèi)外客戶對直寫光刻設(shè)備的需求。公司130-90nm晶圓制版光刻設(shè)備研制及產(chǎn)業(yè)化項目已于2022年上半年驗收，能夠?qū)崿F(xiàn)最小線寬350nm、CD均勻度10%，產(chǎn)能120min/片，設(shè)備性能優(yōu)異。

中航證券判斷，光刻機(jī)作為高壁壘、重資本、高風(fēng)險的行業(yè)，其發(fā)展必將借助“舉國體制”之力，重點關(guān)注上海微電子和幾大院所的研究進(jìn)展，以及其控股/參股的資產(chǎn)，或有光刻機(jī)成果注入的預(yù)期。

光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)化漸近，零部件投資先行，中航證券測算國內(nèi)零部件市場空間約150億元，市場空間大、技術(shù)關(guān)鍵性強(qiáng)。